Canon: Búist er við að nanoimprinting tækni muni framleiða 2. hálfleiðara
Canon Corporation í Japan tilkynnti 13. október að sjósetja FPA-1200NZ2C nanoimprint (NIL) hálfleiðara framleiðslubúnað.Fujio Mitarai, forstjóri Canon, hefur lýst því yfir að nýja nanoimprinting tækni fyrirtækisins muni ryðja brautina fyrir litla hálfleiðara framleiðendur til að framleiða háþróaða flís og þessi tækni er nú nær eingöngu í eigu stærstu fyrirtækja í greininni.
Þegar Iwamoto Kazunori útskýrir nanoimprinting tækni, sagði Iwamoto Kazunori, yfirmaður Canon's Semiconductor búnaðarviðskipta, að nanoimprinting tækni feli í sér að setja grímu með hálfleiðara hringrásarmynd á skífuna.Með því að setja aðeins inn á einu sinni á skífu, er hægt að mynda flóknar tvívíddar eða þrívíddarrásir í viðeigandi stöðu.Ef gríman er bætt er hægt að framleiða jafnvel vörur með hringrásarlínu 2nm.Eins og er gerir NIL tækni Canon kleift að lágmarkslínubreidd mynstrisins samsvara 5nm hnút rökfræði.
Það er greint frá því að 5nm flísarframleiðslubúnaður iðnaður einkennist af ASML og nanoimprinting aðferð Canon gæti hjálpað til við að þrengja bilið.
Hvað varðar búnaðarkostnað sögðu Iwamoto og Takashi að kostnaður viðskiptavina væri breytilegur eftir skilyrðum og það er áætlað að stundum sé hægt að lækka kostnaðinn sem þarf fyrir eitt litografferli í helming hefðbundins litografsbúnaðar.Lækkun á stærðargráðu nanóimprentunarbúnaðar auðveldar einnig innleiðingu forrits eins og rannsókna og þróunar.Fujio Mitarai, forstjóri Canon, hefur lýst því yfir að verð á nanoimprinting búnaðarvörum fyrirtækisins verði einn stafa lægra en EUV (Extreme UltraViolet) búnaður, en endanleg verðlagningarákvörðun hefur ekki verið tekin ennþá.
Það er greint frá því að Canon hafi fengið margar fyrirspurnir frá hálfleiðara framleiðendum, háskólum og rannsóknarstofnunum varðandi viðskiptavini sína.Sem önnur vara við EUV búnað er mjög eftirvænt að nanoimprinting búnaður.Hægt er að nota þetta tæki fyrir ýmis hálfleiðara forrit eins og Flash Memory, Private Computer DRAM og Logic.